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Effect of Boundary Layers on Polycrystalline Silicon Chemical Vapor Deposition in a Trichlorosilane and Hydrogen System
张攀, 王伟文, 陈光辉, 李建隆
Effect of Boundary Layers on Polycrystalline Silicon Chemical Vapor Deposition in a Trichlorosilane and Hydrogen System
ZHANG Pan, WANG Weiwen, CHENG Guanghui, LI Jianlong
. 2011, (
1
): 1 -9 .
京公网安备 11010102001993号 
