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Spatial batch optimal design based on self-learning gaussian process models for LPCVD processes
Pei Sun, Lei Xie, Junghui Chen
Spatial batch optimal design based on self-learning gaussian process models for LPCVD processes
Pei Sun, Lei Xie, Junghui Chen
Chinese Journal of Chemical Engineering . 2015, (
12
): 1958 -1964 . DOI: 10.1016/j.cjche.2015.11.013
京公网安备 11010102001993号 
